第二百四十四章 举国之力的产物(2 / 2)
“很多东西都要从原材料开始研发!”
王道林说着的时候,一旁的南江科技的研发部门负责人曹星辰也是接上了话头:“不错!”
“我们公司是搞物镜,为了这个DUV光刻机的物镜,我们是从材料到加工工艺,全都是重新搞的!”
“我们南江科技主导,还拉着一大票研究所,合作企业,同时展开了数十个新材料研究项目,挨个测试各种材料并对材料进行针对性的改进。”
“最终花了两年多时间,这才弄出来了堪用的材料!”
“但是弄出来材料还不行,然后还得加工啊!”
“这加工更难!”
曹星辰说的时候,也是回想起来了之前的研发困境,不由得感叹:“光刻机所需要的镜片精度是非常高的,通常需要达到波长的五十分之一,比如我们这DUV干式光刻机的光源波长是193纳米,五十分之一就是三点八六纳米!”
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