第一三八二章 秘而不宣（2 / 2）

连李昌杰都不知道，bSEc研究院院长邓国辉院士和所长钱富强研究员率领光源研究所的140多名研发人员，经过2年半的潜心研究，有孙健不断「点拨」，终于在去年7月研制成功浸没式光刻系统技术，ArF激光器发射的193n光源通过纯净水的折射，得到了波长134n的光源，解决了业界遇到的193n波长的世界级难题，还没有申请公司发明专利，秘而不宣。

只能委屈钱富强和140多名研发人员了。

研究员钱富强凭借主持研发成功浸没式光刻系统技术，攻克这项光刻机光源上的世界级难题，凭借这一世界级的重大科研成果，就能申请工程院院士。

邓国辉和钱富强从去年8月开始立项，bSEc投资1亿元，带领光源研究所，静下心来开始研发EUV。

作为上市公司，bSEc发布公告，投资1亿元继续研究193n波长的世界级难题。

即使能得到蔡司公司最先进的透镜和反射镜系统，有资金支持，孙健也怀疑bSEc研究院在20年内能否研制成功EUV光刻机？

停止研究也不可能买到EUV光刻机，20年不行，30年！

「李总，布罗迪先生，余总已经拿到美国商务部的同意文件，我们明天前往美国，180n制程工艺的半导体生产线的基建要加快进度，增加人手，保证11月底完工。」