第一三八二章 秘而不宣(2 / 2)

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连李昌杰都不知道,bSEc研究院院长邓国辉院士和所长钱富强研究员率领光源研究所的140多名研发人员,经过2年半的潜心研究,有孙健不断「点拨」,终于在去年7月研制成功浸没式光刻系统技术,ArF激光器发射的193n光源通过纯净水的折射,得到了波长134n的光源,解决了业界遇到的193n波长的世界级难题,还没有申请公司发明专利,秘而不宣。

只能委屈钱富强和140多名研发人员了。

研究员钱富强凭借主持研发成功浸没式光刻系统技术,攻克这项光刻机光源上的世界级难题,凭借这一世界级的重大科研成果,就能申请工程院院士。

邓国辉和钱富强从去年8月开始立项,bSEc投资1亿元,带领光源研究所,静下心来开始研发EUV。

作为上市公司,bSEc发布公告,投资1亿元继续研究193n波长的世界级难题。

即使能得到蔡司公司最先进的透镜和反射镜系统,有资金支持,孙健也怀疑bSEc研究院在20年内能否研制成功EUV光刻机?

停止研究也不可能买到EUV光刻机,20年不行,30年!

「李总,布罗迪先生,余总已经拿到美国商务部的同意文件,我们明天前往美国,180n制程工艺的半导体生产线的基建要加快进度,增加人手,保证11月底完工。」

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